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長平晶的結構和用途
 
長平晶的結構和用途
長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的規范量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平晶的資料為K9光學玻璃。
長平晶的非工作面上有表示受檢點位置的十字刻線,對于210mm長平晶有7個十字刻線,刻線間隔為30mm兩端十字刻線距端面為15mm對于310mm長平晶兩端十字刻線距端面為20mm,刻線間隔為30mm共有9個間隔,另外在對稱中點位置上增加一個十字刻線,共有11個十字刻線。
使有長平晶時,考慮到其自重變形對測量的影響,且便于修正,應使長平晶支承在固定的位置上,并使工作面向下。一般常在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm0級量塊;或用鋼球支承架,其支承鋼球的尺寸差小于0.1μm以內。長平晶連同其支承一起放在被測表面上,用等傾干涉法進行平面度測量。
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